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一、罗茨水环真空机组的最大抽速由主泵(罗茨泵)抽速决定;
二、罗茨水环真空机组的极限真空度:
1、二级罗茨水环真空机组(罗茨泵+水环泵)267Pa;{麦氏水银真空表可测得}
2、三级罗茨水环真空机组(罗茨泵+罗茨泵+水环泵)25Pa;{麦氏水银真空表可测得}
3、四级罗茨水环真空机组(罗茨泵+罗茨泵+罗茨泵+水环泵)0.5Pa。{数显真空表可测得}
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